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晶圆是如何制造出来的?

鲜枣课堂  · 公众号  ·  · 2025-04-17 19:51

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AMD曾经也是IDM,但后来改弦更张,也走轻资产的Fabless模式了。它的晶圆厂被剥离出去后,摇身一变,成了全球前五的晶圆代工厂:格罗方德(GlobalFoundries)。



晶圆制备


好了,接下来,我们来看具体的制造过程。


首先,还是从最基本的晶圆制备说起。


这个,就是晶圆


我们经常说,芯片是沙子造的。其实,主要是因为沙子里面,含有大量的硅(Si)元素。


硅是地壳内第二丰富的元素,仅次于氧


沙子里有硅,但是纯度很低,而且是二氧化硅(SiO2)。我们不能随便抓一把沙子就拿来提炼硅。通常,会选用含硅量比较高的石英砂矿石。


高纯石英砂矿石


第一步,脱氧、提纯。


将石英砂原料放入熔炉中,加热到1400℃以上的高温(硅的熔点为1410℃),与碳源发生化学反应,就可以生成高纯度(98%以上)的冶金级工业硅(MG-Si)。


冶金级工业硅


随后,通过氯化反应和蒸馏工艺,进一步提纯,得到纯度更高的硅。


硅这个材料,不仅可以用于半导体芯片制造,也可以用于光伏行业(太阳能发电)。


在光伏行业,对硅的纯度要求是99.9999%到99.999999%,也就是4~6个9,叫(SG-Si)。


光伏板


在半导体芯片行业,对硅的纯度要求更加变态,是99.9999999%到99.999999999%,也就是9~11个9。这种用于半导体制造的硅,学名电子级硅(EG-Si),平均每一百万个硅原子中最多只允许有一个杂质原子。


第二步,拉单晶硅(铸锭)


这种经过提纯之后的硅,是多晶硅。接下来,还需要把它变成单晶硅。


之前介绍半导体发展简史的时候,小枣君给大家解释过单晶硅和多晶硅。


简单来说,单晶硅具有完美的晶体结构,有非常好的性能。多晶硅,晶粒大、不规则、缺陷多,各种性能都相对差。所以,芯片这种高端货,基本都使用单晶硅。光伏那边,可以用多晶硅。







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