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意法半导体模拟、功率和分立器件、MEMS和传感器事业部中央研发总经理兼集团副总裁Anton Hofmeister表示:“我们很高兴能够推进与A*STAR IME和爱发科的合作,并欢迎A*STAR IMRE和新加坡国立大学在“Lab-in-Fab“的2.0阶段中开展新项目。这项计划将推进压电MEMS技术的创新,并支持下一代MEMS器件的商业化。”
新加坡科技研究局副局长(创新与企业)Yeo Yee Chia教授表示:“我们正在通过深化和拓展与材料、工具、工艺模块、技术开发、设计和制造领域关键创新者之间的合作,创新研发成果的转化方式。这将加速采用环保无铅材料的下一代节能型压电MEMS器件的商业化,并巩固新加坡在全球半导体价值链中的地位。”
爱发科设备业务总部先进电子设备部总经理兼执行官Harunori Iwai表示:“我们很荣幸能够参与这项开创性的计划,并为压电MEMS行业贡献爱发科在制造技术解决方案方面的专业知识。”
最初的1.0版本“Lab-in-Fab”成立于2020年,旨在开发一种用于生长锆钛酸铅(PZT)薄膜的物理气相沉积(PVD)方法,与传统的块体型压电技术相比,该方法显著降低了铅含量,从而实现了PZT MEMS市场扩张。
压电MEMS是新加坡的研发重点领域之一,此外还有基于异质集成的先进封装、碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等宽带隙半导体、毫米波射频技术以及平面光学和光子异质集成等先进光子技术。这些重点领域已被纳入新加坡的《研究、创新与企业2025计划(RIE 2025)》,旨在促进新加坡发展成为创新驱动型经济和社会。
“Lab-in-Fab”是新加坡半导体生态系统的重要参与者,致力于促进与MEMS传感器和执行器产品公司、制造公司及其供应商的合作。它通过提供基于“Lab-in-Fab”先进材料和器件平台的多项目晶圆(MPW)服务,为新加坡本地和国际公司提供支持。此外,“Lab-in-Fab”还提供实习和博士研究机会,以壮大新加坡本地和全球压电MEMS领域的人才储备。