从没见过这么全的材料表面形貌测试分析，材料人必看！

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样品要求：

非磁性或弱磁性，不易潮解且无挥发性的固态样品，小于8CM*8CM*2CM

参考标准：

JYT 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则；

GB/T 17359-2012微束分析能谱法定量分析。

扫描探针显微镜/原子力显微镜(AFM)

原子力显微镜(AFM)能够表征物体表面三维形貌信息，其横向分辨率可达0.2nm，纵向分辨率可达0.01nm。提供原子或接近原子分辨率的表面图形，是测定埃尺度表面粗糙样本的理想技术。

AFM测试原理图

测试仪器:

原子力显微镜AFM

来源：西安锐思博创应用材料科技有限公司

样品要求：

薄膜样品和表面比较平整的固体可直接测试；

纳米粉末样品需要将其分散到相应的溶剂中，超声分散，晾干后测试。

俄歇电子能谱 (AES, Auger)

俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源，聚焦在小块表面形貌上的表面分析技术。在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高，高空间分辨率，最小可达到6nm；能探测周期表上He以后的所有元素及元素分布；通过成分变化测量超薄膜厚。

当用来与溅射离子源的结合时,AES能胜任大、小面积的深度剖面。当与聚焦离子束(FIB)一起使用时，它对于截面分析是很有用的。多用于半导体行业。

测试仪器： 俄歇电子能谱仪。

俄歇电子能谱仪（AES）

来源：深圳市美信检测技术股份有限公司

工作原理：

原子内某一内层电子被激发电离从而形成空位；一个较高能级的电子跃迁到该空位上；再接着另一个电子被激发发射，形成无辐射跃迁过程，被发射的电子称为Auger电子；俄歇电子能谱仪通过分析Auger电子的能量和数量，信号转化为元素种类和元素含量。

应用：

缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；工艺控制；薄膜成分分析。

样品要求：

（1）样品最大规格尺寸为1×1×0.5cm，当样品尺寸过大需切割取样；

（2）由于AES测试深度太浅，无法对样品喷金后再测试，所以绝缘的样品不能测试，只能测试导电性较好的样品；

（3）AES元素分析范围Li-U，只能测试无机物质，不能测试有机物物质，检出限0.1%。

具体案例：

AES点扫描成分分析图谱	AES深度溅射氧化铝厚度测量
AES线扫描成分分析图谱	AES面扫描成分分析图谱

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