专栏名称: 中国生物产业信息平台
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三星宣布11纳米芯片新工艺:7纳米也在路上了

中国生物产业信息平台  · 公众号  ·  · 2017-09-30 16:59

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今天,三星电子又宣布了新的11nm FinFET制造工艺“11LPP”(Low Power Plus),并确认未来7nm工艺将上EUV极紫外光刻。

三星11LPP工艺不是全新的,而是14nm、10nm的融合,一方面采用10nm BEOL(后端工艺),可以大大缩小芯片面积,另一方面则沿用14nm LPP工艺的部分元素。







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