科学家成功开发大口径高性能卫星激光通信用MEMS快反镜

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快反镜在卫星激光通信中承担着光束指向、捕获和跟踪等重要作用，需要具备高指向精度、高工作带宽和高光学质量等一系列极限性能指标。然而，传统机械快反镜存在体积大、功耗高、存在迟滞等挑战，同时原有MEMS快反镜镜面小、带宽低、无集成角度传感器等问题也亟待解决。

在前期研究基础上，研究团队开发了一种10 毫米大口径压电驱动MEMS快反镜。该设计采用双层异构集成技术以及晶圆级键合工艺，器件具备高线性度超高角度分辨率、快速阶跃响应以及高重复定位精度。在结构设计方面，研究团队创新性地引入力学定向结构形成应力集中区域，显著优化了光束控制的精确性。在性能表征方面，研究团队首次针对10毫米大口径镜面动态变形进行表征，在准静态驱动下最大动态表面形变仅2纳米，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。

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