专栏名称: 传感器技术

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光刻机将成为历史！麻省理工华裔研究出 2D 晶体管，轻松突破 1nm 工艺！

传感器技术 · 公众号 · · 2023-06-01 07:00

正文

而且，现在先进制程工艺的发展似乎也在 1~3nm 这里出现了瓶颈，所以不少人都认为摩尔定律到头了。

但是 由超薄 2D 材料制成的半导体晶体管，单个只有 3 个原子的厚度，可以大量堆叠起来制造更强大的芯片 。

正因如此，麻省理工学院的研究人员研发并展示了一种新技术，可以 直接在硅芯片上有效地生成二维过渡金属二硫化物 (TMD) 材料层，以实现更密集的集成 。

但是，直接将 2D 材料生成到硅 CMOS 晶圆上有一个问题，就是这个过程通常需要约 600 摄氏度的高温，但硅晶体管和电路在加热到 400 摄氏度以上时可能会损坏。

这次麻省理工学院（MIT）华裔研究生朱家迪等人的研究成果就是， 开发出了一种不会损坏芯片的低温生成工艺，可直接将 2D 半导体晶体管集成在标准硅电路之上 。

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