物理所2017微纳米加工技术讲习班等你来参加！

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中科院物理所微加工实验室于2003年开始运行，2008 年成为科学院“纳米材料与纳米结构加工平台”，2009 年加入“中科院所级公共技术服务中心”和2010 年成为“基金委纳米制造重大研究计划联合实验室”，目前微加工实验室已发展成为面向国内外的技术服务平台，为国内微纳加工技术和人才的交流提供了一个舞台。

微加工实验室现有固定人员10人，其中研究员1人，主任工程师2人，副主任工程师3人，工程师4人，平均年龄36岁。在读研究生共12人，是一支以青年人为主的富有活力的专业技术创新团队。

微加工实验室承担国家科技部、基金委、科学院的重大、重点及一般科研项目30余项，合作发表SIC论文200余篇，获国家授权发明专利20余项，2015年纳米级长度标准样品获国家一级标准物质认证，2015年获北京市科学技术二等奖。

微加工实验室拥有包含万级、千级和百级的近1000 平米超净实验室，主要装备有加工、刻蚀、沉积、表征、测量及相关辅助设备60余台，微纳加工能力涵盖从微米到亚纳米，从零维到三维。

聚焦离子束刻蚀与沉积系统2台（FIB）

电子束曝光系统2台（EBL）

紫外光刻系统2台（UL）

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