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又一半导体核心设备成功突围,国产高端温控器破解卡脖子难题

传感器技术  · 公众号  ·  · 2023-06-02 07:02

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而与普通PID温控器不同,半导体生产设备中许多环节,比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法,以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作为温控器应用的高端市场,半导体制造领域对温控器的产品精度、可靠性、抗干扰性和稳定性要求均非常苛刻。


一位光伏制造业内人士指出, 生产晶体硅太阳能电池的产线上,温度控制更是堪比灵魂。 比如扩散炉需要将炉内温度按照一定升温速率加热到700℃-1040℃左右,并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内,这对控温的精准度、可靠性和稳定性有极致的苛刻要求,温度一旦发生偏差,产品性能就会大打折扣甚至报废。


超高的技术门槛使得能进入半导体领域的串级温控器厂商屈指可数,以往只有日本AZBIL、英国PMA和美国WATLOW旗下EUROTHERM等少数品牌可以满足要求。而宇电新推出的AI-8半导体设备专用串级温控器去年成功进入光伏制造领域,成为目前唯一一家产品通过光伏半导体市场验证的国产温控器企业。



作为中国智能调节器和温控器龙头企业, 宇电拥有两座建筑面积分别为1万平方米和5万平方米的现代化工业厂房,年产各种型号智能温控仪表160万台 ,广泛应用在热处理、电炉、新能源、化工、半导体设备、晶体生长、超导材料及精密实验设备等上百个行业领域。例如,央视《大国重器》中介绍的三一重工生产1800兆帕高强钢,加热炉的温度控制就采用了宇电仪表。


去年3月开始,在疫情及芯片涨价等因素影响下,供应链受阻,许多进口温控器不仅纷纷宣布涨价,同时还限量供应,下游企业面临断货停产危机。作为负责任的国产温控器龙头企业,宇电管理层决定宁愿高价购买市场芯片也要维持国内温控器供应链的稳定,在市场出现部分客户试图“囤货”宇电产品时,宇电及时在官网承诺不涨价和不断货,这一举动不仅有效阻止了部分囤货行为,使得宇电顺利实现给所有客户确保供货且不涨价的目标,也大幅提升了客户对宇电的信任。


在芯片缺货的大背景下,半导体设备所需的串级温控器也同样受到影响,仅有的几家进口仪表供应商均无法及时交货。对此国内某光伏设备龙头企业找到宇电,希望能和宇电合作在最短的时间内解决串级温度控制技术问题。在获得客户需求后,宇电研发部门上下全力以赴,夜以继日加班工作, 在短短一个多月内就研发出了全新的串级温度控制仪表供客户测试, 其后二个月顺利完成客户厂内及生产现场的各项测试,并在客户下单后快速完成批量供货,最终成功批量应用到生产现场,解决了客户因温控器缺货而可能导致停产的危机。


从宇电官网得知,AI-8半导体设备专用温控器具有高精度、低温漂且高效节能的突出优势,采用了宇电新一代高性能24位定制A/D芯片,基于AI人工智能技术的PID算法,具有0.05-0.2级多种测量精度可选,抗干扰性强,可靠性高。而相对进口串级温控器来说,宇电自主研发的AI智能自动定标技术让串级仪表的调试工作和普通单回路PID仪表的一样简单,遇到复杂控制对象也能轻松应对,从而在控制算法上实现了对进口串级温控器的超越。







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