中国芯片刻蚀机之父，永远38岁！

正和岛 · 公众号 · 热门自媒体 · 2025-02-12 15:52

正文

最强大脑

实际上，尹志尧与三家刻蚀机国际大厂中的两家LAM、AMAT都有很深的渊源。

1944年，尹志尧出生于北京，中学就读于久负盛名的北京四中，之后考入中国科技大学化学物理系，毕业后在兰州炼油厂和中科院系统工作了近十年。

1978年，尹志尧考入北京大学化学系，攻读硕士。他还记得，当时国内最先进的计算机，内存只有128K，却占了两栋大楼，里面装着数不清的电子管。

1980年，36岁的尹志尧成为北京大学第二个自费出国留学生。

1984年，已获得加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位的尹志尧，进入硅谷，在英特尔中心研究开发部研发芯片，成为第一个进入英特尔的中国留学生。

当时英特尔已经把128K的容量做到一个指甲盖大小的芯片上了。

但尹志尧很快开始对设备更感兴趣，他认为，没有微观加工设备，就造不出芯片，也就不会诞生那么多伟大的公司。

在一次英特尔对LAM的刻蚀设备采购评估中，尹志尧参与了评价，并且给出了否定意见。当LAM果真失去英特尔的订单，并了解到尹志尧就是那个对其批评最多和建议最多的人，他们非但没有对尹志尧生气，甚至决定把尹志尧挖过去，助力研发刻蚀设备。

此时的LAM已处在崩溃的边缘，跳槽面临着巨大的风险。

反复权衡考虑后，尹志尧还是决定去冒这个险，因为他已经想出怎么把刻蚀设备做好的办法。

1986年-1991年，尹志尧在LAM历任研发部资深工程师、研发部资深经理。5年间，尹志尧开发了彩虹号电容性介质等离子体刻蚀机，也开始了电感性等离子体源ICP技术的开发。

尹志尧的加盟，帮助LAM击败了AMAT，成为国际最强刻蚀机公司，市场占有率超过40%。

这让AMAT也盯上了尹志尧，并最终将他请了过去。

1991年-2004年，尹志尧在AMAT历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。

在这期间，他帮助AMAT研发成功了几种刻蚀机，AMAT的刻蚀机业务也做到世界最大，国际市场份额超40%。

到2004年，尹志尧已在硅谷从事半导体行业20年，参与并领导了国际几代等离子体刻蚀机的研发，在半导体行业拥有了86项美国专利和200多项各国专利，也成为了国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者，以及微观设备领域的“最强大脑”之一。

由此，尹志尧也被誉为 “硅谷最有成就的华人之一” 。

贡献祖国和人民

2004年，已在硅谷功成名就，且已60岁的尹志尧，带着一批资深的行业专家落户上海浦东，创办了中微公司。

从此，他开始和中国芯片产业的命运紧密相依。

唤醒尹志尧内心深处报国情怀的人是江上舟。

一个国际半导体设备展上，尹志尧偶遇了北京四中的校友，时任上海经委副主任江上舟。