光源技术突破，EUV量产指日可待

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然而，他补充说，Gigaphoton「还必须使其EUV光源更可靠地运作，并将其完全整合至ASML的系统中。目前该公司的光源和ASML的系统配合得很好。」

图2：Gigaphoton LPP光源原型据称达到了4.0%的发光功率与250W输出，可望投入高阶半导体量产

ASML的发言人说，该公司与Gigaphoton之间定期举行技术和管理评估会议，并对于两家公司过去取得的成果发表看法。

该发言人指出：「Gigaphoton在2016年宣布，可在4%的转换效率下实现250W光源输出，同时在测试时，也能以超过130W的功率连续运作119小时。三年前，ASML在类似条件下可实现170W光源。」

此外，「在去年底，ASML以12%的剂量裕度展示了210W的光源功率，同时在不增加保护氢流量的条件下，证明了250W的可行性。ASML还在其位于荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)的总部基地以符合规格的剂量展示200W的光源功率，并在一年内使性能指标提高了2倍。」

她并补充说，「客户已经承诺嵌入EUV，而我们也正进入下一阶段的工业化。」

欧洲微电子研究中心Imec展示一款带有新型混合影像感测器的原型摄影机，该感测器整合了彩色和窄频的近红外线(NIR)滤波器。RGB-NIR感测器支援晶片上微镜头，以创造成小至5um的画素。NIR导通滤波器可经调节，以符合诸如特定雷射或LED光的波长等要求。

Imec专案经理Andy Lambrechts说：「这种整合彩色视图与一个或多个近红外线窄频的能力，将是实现下一代3D、虚拟实境(VR)和扩增实境(AR)平台以及机器视觉、医疗、汽车和安全监控等应用的关键推手。」

Imec以晶圆级制作光学滤波器，将其沉积在CMOS影像感测器画素的顶部。目前，这款新的感测器已可提供早期样片。

另外，M-Squared Lasers公司展示其所谓的单画素摄影机，在可携式装置中结合了红外线影像和化学检测。M-Squared与英国一家成像实验室合作开发了可以产生甲烷气体即时视讯的低成本成像器。

这款所谓的GasSight感测器使用雷射二极体，以1.65μm波长(可吸收甲烷的波长)照射场景。红色甲烷云影像覆盖在整个场景的彩色影像上。该系统已经实验室验证，工程师目前正在研究灵敏度范围达3公尺的版本。

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