蚌埠：中国三大传感器制造基地之一，瞄准“千亿级”智能传感器产业

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希磁科技生产线（图/蚌埠市委宣传部）

在中国传感谷打造上，按照“一谷三园多点”统筹产业布局。其中，“三园”即MEMS核心器件产业园、科技孵化园、中央创新产业园，总占地面积2100余亩；“多点”即各县区结合实际联动发展智能传感上下游产业，形成全市统筹、县区联动、协同发力的首位产业强劲发展态势。

同时，蚌埠充分发挥安徽北方微电子研究院集团有限公司等大院大所和龙头企业作用，合作共建传感谷公共服务平台及示范线项目，建设了力传感器工艺线、温湿声类传感器工艺线及传感器检验试验平台等9条公共技术服务平台，以满足不同类型的智能传感器生产需求。

这两天，安徽华鑫微纳集成电路有限公司车间里，总投资50.6亿元的8英寸MEMS晶圆生产线项目正在进行工艺调试生产。“项目建成后，月产能将达到3万片，有望成为全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线。”安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理丁敬秀介绍，目前企业已与50家客户达成合作意向，意向订单总计约21万片。

技术人员对8英寸MEMS晶圆生产线进行工艺调试

“8英寸MEMS晶圆生产线的投入使用，对于助推整个产业集聚来说意义重大。”蚌埠经开区党工委委员、管委会副主任汤伟介绍，晶圆代工属于技术难度大、投入高的行业，一般企业不愿意投入，“政府协调来干中端的‘苦活’，让企业专注于性价比更高的研发和应用两端，这样才能吸引更多相关企业入驻。”

由于华鑫微纳对外提供开放式、定制化MEMS晶圆代工服务，将有越来越多的“蚌埠造”MEMS芯片向全省乃至全国的智能传感器企业供货，为整个产业链安全以及产业集聚提供了坚实保障。

在全产业链“齐头并进”的总体布局下，各类资源得到有效整合，形成了一个强大的传感器产业生态圈。据统计，蚌埠市目前已集聚北方微电子研究院、芯动联科、希磁科技等相关企业200余家，其中，规上企业59家、高新技术企业69家、省级以上专精特新企业40家，构建了智能传感材料、设计、制造、封装、测试和应用的完整产业体系。赛迪顾问发布《2024中国MEMS产业发展与十大高质量传感器园区报告》，中国传感谷入选2024年度十大MEMS园区。

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