第78期国际名家讲堂：MEMS技术——新兴的高价值MEMS传感器和器件:现在和未来发展趋势

Michael Kraft

鲁汶大学教授

个人履历：

Michael Kraft 是鲁汶大学电气工程系教授，从2015年至2017年，他在列日大学电气工程和计算机科学系任教，2012年至2014年在德国杜伊斯堡的弗劳恩霍夫微电子电路与系统研究所工作，在那里他领导微系统和纳米系统部门。他同时在杜伊斯堡 - 埃森大学担任微集成和纳米系统教授。从1999年到2012年，他是英国南安普顿大学的一名教师和微系统技术教授。同时，他还是南安普顿纳米加工中心的主任。他1993年毕业于在弗里德里希亚历山大大学 - 埃尔兰根 - 纽伦堡的电气和电子工程专业。1997年，他获得考文垂大学博士学位，开发MEMS加速度计。然后，他在加州大学伯克利分校传感器和执行器中心工作了两年，致力于集成MEMS陀螺仪。

他在微纳制造技术、微传感器和驱动器及其接口电路方面拥有20年的经验，尤其是电容式传感器。他对MEMS和纳米技术有着广泛的兴趣，从工艺开发到MEMS和纳米器件的系统集成。 2005年，他的研究组开发出世界上第一个用于MEMS加速度计的五阶Σ-Δ调制器（SDM）接口，并于2007年开发出用于MEMS陀螺仪的带通SDM。他在用于传感和驱动应用的静电悬浮微物体方面做了突破性的工作，并开发了几种新颖的微制造原子和离子芯片。作为作者或共同作者，他发表了250多篇同行评审的期刊和会议出版物。他还撰写了三本有关MEMS的教科书，并编写了一本关于MEMS用于航空航天和汽车应用的书籍。他曾在IEEE Sensors，Eurosensors，Transducers，ISSCC，MNE和MME等国际会议的若干技术委员会任职，同时还是IEEE Sensors Letters的高级编辑和Sensors and Sensor Systems Journal的副主编。他还为许多活跃在MEMS领域的公司做过工业咨询。

第一天(9月17日)

专题 1 : 简介：什么是 MEMS?

- MEMS来自哪里?

- MEMS、微系统技术 和纳米技术的定义

- 缩放规则

- 一些现实生活例子

专题2 : 高价值 MEMS的经济现状和预测

- 当前市场及其经济状况

-各种MEMS器件及其应用的市场数据

- 新兴高价值应用市场

- 主要的MEMS竞争者

讨论会(30min)

专题3 : 高价值MEMS传感器和器件技术

-转换技术（电容式、压阻式、压电式、谐振器）

- MEMS制造工艺

-用于高价值MEMS的接口和控制电路

讨论会 (30min)

第二天（9月18日）

专题1 : 高性能惯性传感器

- 加速计

- 陀螺仪

- 应用领域

- 实际例子

专题2 : 高性能MEMS压力传感器

- 工作原理

-用于汽车应用的压力传感器

-用于消费者应用的压力传感器

-用于医疗应用的压力传感器（有源植入）

讨论会 (30min)

专题 3 : 生物医学和生化传感器和器件

- 植入式传感器和器件

- 环境传感器

总结和讨论反馈 (30mins)