​环境保护应是政府发展半导体产业的第一关注

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笔者曾在上海浦东也看到有不少居民小区建在距离半导体工厂很近的地方，房地产还是很热销。购买房子的老百姓只关心房价和地块，很少会关心附近是否有半导体工厂，也更不知道什么“小分子”的影响了。

二、半导体工业耗水之大超出想象

今年初笔者曾就半导体用水的影响在江南某城市做过采访，该市是我国半导体产业发展比较早和半导体制造较为集中的城市，周围遍布大量长江、太湖和运河水系。

资料显示，该市的某跨国知名芯片制造厂，每天用水量是4-5万吨(一期)，每片晶圆从头到尾制造出来耗水量约为12～15万吨。最近该市新引进了一座12英寸芯片厂，一期用水量在1万吨/天，二期、三期增加到2.4万吨/天，按照这个数据计算，芯片厂每年耗水量是十分惊人的。据称，该市一家老字号的芯片厂用水量在200万吨/年以上。

据了解，该市自来水厂产能是235吨/天。而当地几家半导体制造厂的用水量就占到了这座城市的10%以上，可见半导体制造的用水量是巨大的。

所以各地发展半导体产业首先要考虑水资源，能否满足半导体工业对水的巨大需求。另外，在半导体制造技术上，使用先进的制造装备也很重要，比如随着大直径晶圆时代的到来，单片清洗技术逐渐替代原槽式清洗技术，就能从根本上节省用水。S女士说，他们公司研发制造的一种新型腔体湿法设备，可以做到节水90%以上。

三、从半导体工作的员工健康考量

半导体产业另一项考量是对从事半导体制造的员工身体的影响。在半导体的制作过程中要使用上百种化学药剂，其中不乏对人体健康的有害物。

《美国IT业的环保问题》一书中指出，“硅芯片厂商们使用的化学剂有500到1000种，像砷可以使芯片具有更好的信号传送性能，却是公认的致癌物。还有乙二醇乙醚，曾在美国一些大的芯片厂内滥用并导致40％的工人患有不育症，如今已不常用了。还有更多的新的化学物被用于IT制造业，其研究报告尚未出来，它们对工人的健康有多大威胁谁也说不清楚。”

回看半导体发展的历史，关于半导体工作环境是否给人的健康带来影响的案件并不很少。

最著名的事件是在2018年，三星半导体就“半导体厂工人患白血病”事件纠纷公开道歉。三星高层向致病员工道歉说：“我们未能控制好半导体和LCD工厂的健康风险。”此事件导致三星出资500亿韩元(约合人民币3063万元)成立环保基金，并对致病或死亡的员工进行赔偿。

对于长期在芯片厂工作的人来讲，生男生女似乎也与半导体环境相关。小D曾在某知名芯片厂工作过七年，他描述说，和他在同一个工艺小组一起工作的二十几个员工，只有一个人生了男孩，其余一律都是生的千金。在同样的环境下20+比1，也太神奇了！这个说法似乎在半导体界得到了默认。因为每天长达八小时的与这些化学物质打交道，无孔不钻的酸类物质对人体做了什么，谁能准确地知道呢！

▲ 半导体制造厂的生产环境（来源： 网络）

四、半导体产业对环境的影响

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