国产替代：光刻机相关概念股整理

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关键零部件供应商

光刻机核心部件如光学系统、精密导轨等仍依赖进口，国内企业正加速替代。 永新光学（603297） 为国内光学组件龙头，其高精度光栅尺已通过上海微电子验证； 茂莱光学（688502） 的半导体级光学镜头进入中微公司供应链； 波长光电（301421） 的激光光学元件适配国内主流光刻机厂商。

二、光刻胶及配套材料

高端光刻胶国产化

PSPI 光刻胶： 鼎龙股份（300054） 已实现 PSPI 光刻胶规模量产，国内市场占有率超 60%，供应华为、OPPO 等终端厂商； 艾森股份（688720） 的正性 PSPI 产品获晶圆厂首笔订单，打破美日垄断。

ArF 光刻胶：南大光电（300346） 的 ArF 光刻胶通过客户验证并少量发货，拟投资 6 亿元建设先进光刻胶产线； 容大感光（300576） 的半导体光刻胶已批量销售，部分进入核心供应链；

光刻胶配套材料

光刻胶溶剂（如 PM/PMA）是光刻胶生产刚需，

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