正文
由南开大学的科学家团队从光的上述特性中汲取灵感，将超构材料（metamaterial）完美吸收技术同MEMS高灵敏传感技术相结合，提出了基于光学的meta-MEMS芯片创新设计，构建了一款高性能且低成本的光学读出毫米波焦平面阵列芯片。其由上芯片和下芯片堆叠而成，上芯片为MEMS微结构功能芯片，能够吸收毫米波并实现光学读出；下芯片为透明基底谐振腔芯片，能够产生磁谐振辅助毫米波吸收并透过可见光。其中上芯片的厚度小于波长的1/2500，吸收率却达到了99%以上。所选择的毫米波频段为94 GHz，是非常重要的大气窗口频段，在6G通信、射电天文、导航制导、无损检测等领域具有重要应用。
在超薄尺度效应和超高吸收效率的共同作用下，该
meta-MEM
S
芯片实现了对毫米波的高速、高灵敏、高分辨成像，成像帧频达到144 Hz，在3.5 cm×4.5 cm面积内集成了1600个探测单元，无透镜成像的分辨率达到了1.5 mm。这种基于堆叠策略的光学meta-MEMS芯片不仅能够应用于毫米波焦平面阵列探测芯片，还可以通过尺寸缩放拓展到其它波段（例如短波红外、太赫兹波段等），还能够通过结构创新同偏振、相位调控相结合，构建新一代多功能、高性能、低成本探测及调制芯片，展现了巨大的应用潜力。
