正文
电荷载流子完全桥接源极和漏极后,电流即可通过。
将栅极电压降至接近于零,会关闭传导通路。
当然,要使电流从源极流向漏极,首先需要在沟道上设置电压。
随着晶体管结构越来越小,这种电压带来的影响最终会导致晶体管历史上最大的形状变化。
这是因为源极-漏极电压可以在电极之间形成自身的导电区域。
随着每一代晶体管诞生,沟道区域越来越短,漏极电压的影响也越来越大。
电荷会泄漏到栅极附近区域下方,从而导致晶体管永远不会完全关闭,浪费电能并产生热量。
为了阻止多余的电荷流,沟道区域必须变薄,从而限制电荷通过的路径。
栅极需要从多个侧面环绕沟道。
因此,鳍式场效应晶体管(FinFET)应运而生。
其沟道区域的两侧向上倾斜,在源极和漏极之间形成了一个细长的“硅鳍”,为电流流通提供了更宽的通道。
之后栅极和电介质以三面而非一面覆盖在鳍上。
FinFET无疑取得了巨大成功。
虽然FinFET在十多年前就已问世,但直到2011年,英特尔才率先推出了商业化的22纳米节点FinFET,三星、台积电等公司紧随其后。
从那时起,在摩尔定律扩展的最后阶段,它始终是尖端硅逻辑的主力。
可惜花无百日红。
FinFET无法向3纳米节点推进。
十多年前,我们三人和其他人一样,以这样或那样的形式预见到了这一点。
尽管FinFET性能优越,但它自身也存在着问题。
首先,它引入了一个原“平面”晶体管没有的设计缺陷。
要认清这个问题,必须了解到,在晶体管的速度、功耗、制造复杂性和成本之间需要相互权衡。
这种权衡与沟道宽度有很大关系,沟道宽度在器件设计领域称为Weff。
宽度增大意味着可以驱动更多的电流,更快地开关晶体管,但这也会导致制造过程更复杂、成本更高。
在平面器件中,可以通过调整沟道的几何形状来进行平衡,但是FinFET鳍的灵活性欠佳。
连接晶体管形成电路的金属互连线成层地排布在晶体管之上。
正因如此,在不干扰互连层的情况下,晶体管鳍的高度(相当于平面设计中的宽度)不能发生太大变化。
如今,芯片设计师通过制造具有多个鳍的单个晶体管来解决这一问题。
FinFET的另一个短板是,它的栅极仅三面环绕矩形硅鳍,使得底部与硅体相连,因而泄漏电流可以在晶体管关闭时流动。
许多研究人员推断,要实现对沟道区域的终极控制,栅极需要完全将其环绕。
至少在1990年,研究人员就已经得出这一合乎逻辑的结论。
当年,研究人员报道了首个栅极完全环绕沟道区域的硅器件。
从那时起,便有一代研究人员致力于环绕式栅极。
到2003年,研究人员试图最大程度地减少泄漏,将沟道区域变成一条狭窄的纳米线。
纳米线连接着源极和漏极,并被栅极四面环绕。
那么,为何环绕式纳米线无法构成最新晶体管的基础?
同样,还是沟道宽度的问题。