正文
从历史发展来看,微波集成电路采用的工艺主要有GaAs、SiGe BiCMOS、CMOS和SOI。传统采用的是GaAs,其优点是RF性能好、击穿电压高,但缺点是成本高、无法集成数字电路。目前,业界越来越多的公司都看重SiGe BiCMOS、CMOS和SOI的发展,并不断加大研发投入,这3种硅基工艺在成本、易于集成方面具有先天优势,但在击穿电压方面还有挑战,如何提升它们的击穿电压,以实现好的线性度和大信号处理能力,是摆在研发工程师面前的首要问题。
射频微波半导体工艺比较
SOI是CMOS工艺的特殊版本,二者最大的不同在于衬底,CMOS的衬底是导电的,而SOI采用绝缘衬底,不导电,而且导热性又比较好,可以与GaAs工艺媲美,因此,可以利用这一特性,通过特殊设计方法,可以弥补其在击穿电压特性上的不足,从而也可以实现相对较高功率的电路。基于这些优点,世界上很多半导体公司在加大SOI设计和工艺的投入,相信SOI将会在今后成为小功率微波集成电路的主流工艺。
陆建华在东南大学无线电系先后获得本科和硕士学位,2002年,去了加州大学洛杉矶分校(UCLA),师从Frank Chang教授,学习CMOS微波集成电路设计,2011年取得加州大学电子工程系集成电路与系统专业博士学位。从2004年开始,在攻读博士学位的同时,先后在科胜讯(Conexant)、恩智浦(NXP)和派更半导体(Peregrine,是蓝宝石衬底硅工艺(SOS)的先锋和SOI的主要领导者)任职,2015年回国创业。
职业生涯的前期,陆建华主要从事CMOS和SiGe BiCMOS系统级RF芯片设计,随着技术的不断发展和工作的不断深入,他逐渐意识到,硅工艺信号处理频率的不断提升,低频的传统射频系统的结构很快将被CMOS全数字化的结构替代实现。陆建华不断进行着思考,最后他得出结论,以后的趋势必将是硅工艺向更高频率领域发展。一来可以创造出低成本高集成度的微波系统芯片,二来也能充分体现出硅工艺射频芯片设计工程师的价值。因此,他从2011年开始,由原来的系统级RF-SoC研发,转向了器件级的微波毫米波芯片设计,开启了新的职业生涯。带着新的梦想,陆建华加入了派更半导体(Peregrine)公司。这家公司由从美国海军研究所离职的两位高级技术主管创立,可以说是RF-SOI工艺的先锋和鼻祖,它推广并坚持了20多年,终于把该工艺技术发展到商用阶段。
上世纪80年代,业界就有人提出了SOI工艺设想,当时,伯克利的胡正明教授也指出,当摩尔定律走到极限的时候,能够推动半导体产业继续向前发展的器件结构有两种,一是FinFET,另外一个就是SOI。上世纪90年代,包括Intel和IBM在内的多家公司都曾经尝试过SOI,但都在材料,特别是衬底工艺方面遇到了难以逾越的技术问题,因此没有在后续加大投入力度。而当时的Peregrine公司创始人一直坚信,SOI在射频方面的优势注定其必将是一个很有发展前途的工艺技术,眼前的困难和问题只是暂时的,今后肯定有办法解决。
20年后的今天,RF-SOI的工艺技术取得了突破,同时,它也找到了可以大展拳脚的杀手级应用,即智能手机的射频开关,其很好地解决了手机在2G、3G、4G多种不同蜂窝网络制式和不同频率下,不同的射频收发机与各个频道的天线通信时的模式切换问题。 在它出现之前,手机的射频开关都是采用GaAs工艺,而在面市后3年的时间内,市场上所有的GaAs手机射频开关都被SOI产品替换掉了,并且达到了几十亿美元的市场规模。目前,有很多模拟芯片公司,如Skyworks,Qorvo,以及现在的ADI都加入开发RF-SOI产品的大军。
Peregrine公司的产品线虽然比较窄,但它在SOI方面为业界做出了很大贡献。陆建华在加入该公司后,在SOI方面不断积累,有着深刻的认识和丰富的经验,对后来的创业有着巨大的推动作用。 他开发的PE42524是业界第一款毫米波SOI开关。他主持开发的PE42820承受功率达到了30W. 他认为SOI工艺的潜力还没有被完全开发出来,他在Peregrine公司工作的时候, 除了做射频开关之外,还开发了多种SOI产品,如放大器、振荡器、混频器,最为重要的,陆建华发明了一种基于SOI工艺的限幅器,打破了长期以来只有PIN二极管一种实现方案的局面,实现了限幅器的可集成性。这项发明被列为Peregrine公司的重大基础发明, 其中一款产品PE45450在2015年获得美国电子元器件行业评出的ECN Impact Award(最有影响力奖)。
除了技术层面的厚积薄发,陆建华在Peregrine期间还不断积累着市场拓展方面的经验,他经常和同事拜访各种各样的中国客户,在这个过程当中,他认识到,中国市场在微波芯片领域空白很多,对进口的依赖度很高,有巨大的市场需求和开发潜力。看到机会后,虽然Peregrine高层多次挽留,陆建华还是毅然选择了回国创业。公司创始人Ron Reedy曾在一封公开信中表示,“陆建华是技艺超群的青年领袖和杰出的工程师”。 而公司总裁Jim Cable博士在一封信中表示“他的离开是公司巨大的损失”。