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国内半导体设备:先天不足,后天奋起

ICExpo  · 公众号  ·  · 2018-11-19 15:21

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来自北美的设备商主要包括:应用材料,泰瑞达、Axcelis Technologies,KLA-Tencor,Lam Research,Kulicke & Soffa、Nanometrics,Rave,Rudolph Technologies,Ultratech,Ushio等。


虽然在所有半导体设备厂商和市场中,美国跟随在日本和欧洲之后,处于第三的位置。但就晶圆处理设备而言,其实力非常强劲,在全球晶圆处理设备供应商前5名中,美国就占据了3席,分别是排名第一的应用材料(AMAT),市占率19%左右;第二的Lam Research,市占率13%左右;以及排名第5的KLA-Tencor,市占率6%左右。


具体而言,晶圆处理设备中,几个主要工序的设备也都基本处于行业龙头的高度垄断之中。其中,在PVD领域,应用材料公司占据了近 85%的市场份额,CVD占30%;刻蚀设备方面,Lam Research最多,市占率达53%,而KLA-Tencor在半导体光学检测领域,全球市占居冠。在各个领域中,前三大巨头的市场份额相加均超过70%,整个市场呈现强者恒强、高度垄断的状态。


应用材料可以说是全球最大的半导体设备公司了,产品横跨CVD、 PVD、刻蚀、CMP、RTP等除光刻机外的几乎所有半导体设备。应用材料2017财年营收为145.3亿美元,其中,半导体设备收入95.2亿美元。


半导体设备行业技术壁垒非常高,随着制程越来越先进,对半导体设备的性能和稳定性提出了越来越高的要求,需要投入大量的研发资金。应用材料公司一直保持着在研发上的高投入,其30%的员工为专业研发人员,拥有近12000 项专利,平均每天申请4个以上的新专利。正是这种持续的高研发投入,促成了应用材料的内部创新,构成了较高的技术壁垒,使其自1992年以来一直保持着世界最大半导体设备公司的地位。


中国市场现状


据Semi预测,2018年中国的设备销售增长率将创新高,为49.3%,达到113亿美元,中国大陆将紧随韩国,成为世界第二大半导体设备需求市场。


图:中国大陆半导体设备市场规模(单位:十亿美元)


2017~2020年,中国大陆将有26座新晶圆厂投产,成为全球新建晶圆厂最积极的地区,整个投资计划占全球新建晶圆厂高达 42%,成为全球新建投资最大的地区。目前,中国12英寸晶圆厂共有22座,其中在建11座,规划中1座;8英寸晶圆厂18座,其中在建5座。


在这样大兴土木的行业背景下,对半导体设备的需求和投资必然巨大。粗略计算,已经公布的半导体产线投资金额将超过1000亿美元。按照行业规律,在总投资中80%用于设备投资,从而可计算出设备投资额为800 亿美元。


在晶圆厂设备构成中,光刻机占比最大,占39%,其次是沉积设备,占比为 24%,刻蚀设备第三,占比为14%,材料制备占比8%,表面处理设备和安装设备分别占比2%,其他设备占比11%。


据此,可以计算出,2017-2019年国内集成电路光刻设备市场空间为312亿美元,沉积设备市场空间为192亿美元,刻蚀设备市场空间为112亿美元,材料制备设备市场空间为64亿美元。


我国与先进国际水平相比存在较大差距


未来几年,我国对半导体设备的需求量巨大。中国半导体设备企业虽然在近年内呈现出了高增长态势,但是毕竟发展时间有限,与美、日等国家比起来还是存在明显差距。


2008 年之前我国半导体设备基本全靠进口,因此国家设立了国家科技重大专项——极大规模集成电路制造装备及成套工艺科技项目(简称 02专项)研发国产化设备。但是,由于设备制造对技术和资金需求要求比较高,只有北方华创、中微半导体、上海微电子等少数重点企业能够承担 02专项研发工作,整个行业集中度相对较高。


虽然在02专项的支持下,我国半导体设备实现了从无到有,但相比国内庞大的市场规模而言,自给率不足15%。


即使在发展水平相对较高的 IC 封装测试领域,我国与先进国际水平相比仍然存在较大差距。尤其是单晶炉、氧化炉、 CVD 设备、磁控溅射镀膜设备、 CMP 设备、光刻机、涂布/显影设备、 ICP 等离子体刻蚀系统、探针台等设备市场几乎被国外企业所占据。


我国本土半导体设备企业不算少,但总体不强,销售额占比在国内市场还不足15%,在国际市场几乎为 0。究其原因,还是技术上的落后。







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