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欧司朗拟购Veeco MOCVD系统,助力下一代先进光子器件的开发

半导体照明网  · 公众号  · 半导体  · 2020-10-28 21:19

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Veeco介绍,新型Lumina系统是基于20多年的大容量MOCVD专业技术开发的,并拥有公司核心TurboDisc技术的可靠性能。为了开发下一代器件,欧司朗等领先企业追求高品质薄膜技术,出色的一致性和可重复性,以及无可比拟的购置成本,而这些Lumina都能够满足。Lumina系统的核心就是Veeco的MOCVD TurboDisc技术,该技术专用于实现高一致性和缺陷最少化,能够在直径达8英寸的晶圆上沉积高质量的AsP外延层。









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