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Sb掺杂二氧化锡单片纳米带及其气敏特性研究

MEMS  · 公众号  ·  · 2017-08-11 00:00

正文

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Sb掺杂SnO2纳米带的SEM图


本研究SnO2纳米带器件的制备采用了北京埃德万斯离子束研究所股份有限公司生产的LDJ- 2A-F100-100系列双离子束溅射沉积系统。北京埃德万斯自主研发的Advanced LDJ系列双离子束溅射沉积薄膜系统,可用于溅射沉积各种金属、合金、化合物及半导体材料的单层薄膜、多层薄膜,也可将单质材料通过反应合成氧化物、氮化物、碳化物薄膜。







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